韩国质量流量控制器

一、linetech质量流量控制器产品特点
测量质量流量
*温度和压力补偿
结构紧凑
精度高
工作压力高
响应时间快
重复性高
二、linetech质量流量控制器技术参数
型号
质量流量计
质量流量控制器
流量范围(N2)
??10SCCM~1000SLPM
??10SCCM ~ 300slpm
??响应时间
??<2 sec
??<2 sec
精准度
??≤±1% FS
??≤±1% FS
??重复精度
??±0.25% FS
??±0.25% FS
??输入/输出信号
0~5 Vdc OR 4~20 mA
??0~5 Vdc OR 4~20 mA
供电电源
??±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
??±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
?耐压
??<90bar
??0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar,
100-300SLPM,<15bar
工作环境温度
??0~50?°C
??0~50?°C
漏率
??1*10E-9 atm cc/sec
??1*10E-9 atm cc/sec
使用范围
??2 ~ **
??2~ **

三、linetech质量流量控制器接口尺寸